X射線熒光光譜儀有多種，以能量色散和波長色散為主。
1． 能量色散熒光光譜儀
能量色散型儀器較大的優(yōu)點是不破壞被測的材料或產(chǎn)品，也不需要專業(yè)人員操作，缺點是對鉻和溴是總量測定（一般不影響使用，因為很多情況可以判定，如測鉻總量超標(biāo)，?？芍遣皇橇鶅r鉻超標(biāo)，特別是溴，如被作為阻燃劑加入，不管是那種溴，總量超標(biāo)就不合格）。
進口或國產(chǎn)的各種能量色散熒光光譜儀技術(shù)水平雖有差別，但已夠應(yīng)對RoHS檢測，用戶應(yīng)根據(jù)自己的能力來選購國產(chǎn)或進口的。國產(chǎn)的XR-306能量色散X射線熒光光譜儀也能滿足RoHS的檢測。
2．波長色散熒光光譜儀。
此種儀器的靈敏度比能量色散的高一個數(shù)量級，也就是說，所測的數(shù)據(jù)并不存在“灰色地域”，不存在測定后還需拿到檢測機構(gòu)復(fù)檢。但儀器的價格比能量色散的貴很多，
特別是進口的都在百萬元以上，所以沒有外國公司建議用。儀器操作和能量色散一樣，不需要專業(yè)人員。
國產(chǎn)BX-100R是波長色散熒光光譜儀。價格比進口的能量色散型的還便宜，使用壽命也比能量色散的長一倍（主要指探測器，能量型的一般為5年，波長型的一般為10年）。
波長型較大優(yōu)點是用在原材料廠上，其測定的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確，給生產(chǎn)廠以確信的合格材料。
缺點是，波長法需將被測材料粉碎壓制成樣本后測才準(zhǔn)確。所以，用在材料廠較適合。如不制成樣本（非破壞），會因材料表面形狀不同而產(chǎn)生不同誤差。

性能優(yōu)勢:
下照式：可滿足各種形狀樣品的測試需求
準(zhǔn)直器和濾光片：多種準(zhǔn)直器和濾光片的電動切換，滿足各種測試方式的應(yīng)用
移動平臺：精細的手動移動平臺，方便定位測試點
高分辨率探測器：提高分析的準(zhǔn)確性
新一代高壓電源和X光管：性能穩(wěn)定可靠，實現(xiàn)更高的測試效率，高達100W的功率實現(xiàn)更高的測試效率
技術(shù)指標(biāo):
元素分析范圍：硫（S）～鈾（U）
檢出限：1ppm
分析含量：1ppm～99.99
重復(fù)性：0.05（含量96以上）
穩(wěn)定性：0.05（含量96以上）

EDX5500采用新一代的鈹窗X大功率光管，比市場上其它同類設(shè)備壽命提高了5000小時，為了壓縮成本，在產(chǎn)品結(jié)構(gòu)優(yōu)化和硬件上進一步高質(zhì)設(shè)計，減少一些不必要的-客戶在實際使用中并用不上的軟硬件配置，很大程度上節(jié)省了產(chǎn)品的成本費用，使得成本降低20多，直接讓利給客戶。成為市場上的較暢銷型產(chǎn)品。成為很多小型工廠的首選。在應(yīng)用上屬于通用型產(chǎn)品，應(yīng)用于一切材料的ROHS和無鹵檢測，EDX5500對被檢測材料的種類，化學(xué)或物理性質(zhì)都沒有限制，無論是成品，或半成品，無論是金屬，塑膠，皮革，化工，鞋材，合成料，固體，液體，粉末等，都能準(zhǔn)確，無損，快速地檢測。EDX5500-ROHS檢測儀器，廣泛應(yīng)用于塑膠，五金，電子電器，化工等生產(chǎn)和制造領(lǐng)域環(huán)保臨測。
技術(shù)參數(shù)
測量元素范圍 ：硫（S）～鈾（U）包含ROHS和鹵素的所有元素?？梢詼?zhǔn)確定量。測量時間：200S
配較新算法的ROHS分析軟件，鹵素分析軟件，材料成份分析軟件，軟件算法專利為德國。
檢出限：分析檢出限可達1ppm。含量范圍：1ppm～99.9穩(wěn)定性：0.01管壓：5～50KV管流：≤1000uA探測器：SDD探測器，分辨率可達135eV準(zhǔn)直器：10種準(zhǔn)直器自動切換濾光片：6種濾光片自由切換樣品觀察：高清工業(yè)攝像頭環(huán)境濕度：≤70環(huán)境溫度：15℃～30℃電源：交流220V±5V（建議配置交流凈化穩(wěn)壓電源）

技術(shù)指標(biāo):
元素分析范圍：硫（S）～鈾（U）
分析含量：0.1ppm～99.9
重復(fù)性：0.1
穩(wěn)定性：0.1
環(huán)境溫度：15℃～30℃
電源：交流220V±5V（建議配置交流凈化穩(wěn)壓電源）
儀器配置:
超銳X光源和樣品激發(fā)機構(gòu)
上蓋電動開關(guān)的大容量樣品腔
可自動切換的準(zhǔn)直器，濾光片
高清晰CCD攝像頭
Si-PIN探測器
信號檢測電子電路
高低壓電源
計算機及噴墨打印機
專業(yè)X熒光分析軟件

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